IGZO氧化铟镓锌靶材

纯度:4N

成分 : In:Ga:Zn:O=1:1:1:4 (原子比)(其他成分可定制)

密度:≥6.30g/cm³

尺寸:根据客户需求定制


       产品技术优势


       高纯度:


       5N级别原料,粉体微反应器共沉淀法制备,粉体纯度保证在5N以上.


       成型无钢制模具等金属接触,产品纯度有效保证在99.995%以上;


       大尺寸:


       已生产国内最长1550mm靶材,并可继续放大至1800mm以上,优化减少高世代线的拼接缝隙;


       可制备OLED世代线用超宽加厚靶材,打破日韩在OLED产线大尺寸靶材的垄断。 晶粒均一,性能稳定:


       粉体颗粒均匀,微反应器共沉淀法氧化锡完全固溶;树脂注浆低压成型,无应力,无孔洞缺陷,靶材晶粒组织均一,磁控溅射过程更为稳定;